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關(guān)于SEM掃描電鏡的那些事,一起來(lái)了解下吧

更新時(shí)間:2024-11-05      點(diǎn)擊次數(shù):183
  在現(xiàn)代科學(xué)研究和工業(yè)檢測(cè)領(lǐng)域,電子顯微鏡技術(shù)已經(jīng)成為了不可少的工具。其中,掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,簡(jiǎn)稱(chēng)SEM)以其特殊的成像方式和廣泛的應(yīng)用范圍,成為了材料科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)等多個(gè)學(xué)科研究的重要手段。
 
  SEM掃描電鏡是利用電子與物質(zhì)相互作用產(chǎn)生的信號(hào)來(lái)獲取樣品表面形貌信息的電子顯微鏡。與傳統(tǒng)的透射電鏡不同,通過(guò)掃描電子束照射到樣品表面,并收集從樣品反射回來(lái)的二次電子或背散射電子信號(hào),從而獲得高分辨率的表面圖像。這種非破壞性的分析方法使得SEM能夠觀察各種固體材料的微觀結(jié)構(gòu),包括金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、生物組織等。
 
  SEM掃描電鏡的基本結(jié)構(gòu)包括電子槍、電磁透鏡系統(tǒng)、掃描線圈、樣品室、探測(cè)器和顯示系統(tǒng)。電子槍產(chǎn)生一束高能電子,經(jīng)過(guò)加速電壓后形成細(xì)束電子流。這些電子通過(guò)電磁透鏡系統(tǒng)的聚焦作用,形成極細(xì)的電子探針,對(duì)樣品表面進(jìn)行逐點(diǎn)掃描。當(dāng)電子探針與樣品相互作用時(shí),會(huì)產(chǎn)生多種信號(hào),如二次電子、背散射電子、X射線等。其中,二次電子主要用于生成樣品表面的高分辨率圖像,而背散射電子則提供了關(guān)于樣品成分的信息。X射線的產(chǎn)生則與元素的種類(lèi)有關(guān),可用于元素分析。
 
  在材料科學(xué)中,SEM掃描電鏡被用于研究材料的微觀結(jié)構(gòu)、晶粒大小、相分布等特性。通過(guò)對(duì)斷口形貌的分析,可以了解材料的斷裂機(jī)制和性能。在生物學(xué)領(lǐng)域,可以幫助科學(xué)家觀察細(xì)胞表面的細(xì)節(jié),如細(xì)胞膜的結(jié)構(gòu)、細(xì)胞間的連接方式等。在地質(zhì)學(xué)中,用于巖石和礦物的研究,可以揭示礦物的生長(zhǎng)過(guò)程和晶體缺陷。此外,還在納米技術(shù)、半導(dǎo)體制造、質(zhì)量控制等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。
SEM掃描電鏡

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